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发明名称 LITHOGRAPHIC TECHNIQUE USING LASER FOR FABRICATION OF ELECTRONIC COMPONENTS AND THE LIKE
摘要
申请公布号 KR960015787(B1) 申请公布日期 1996.11.21
申请号 KR19870008699 申请日期 1987.08.08
申请人 DIGITAL EQUIPMENT CORP. 发明人 SHYAM, DAS
分类号 C23F4/04;C23F1/02;G03F7/004;G03F7/20;G11B5/127;H01F41/34;H01L21/027;H01L21/30;H01L21/302;(IPC1-7):H01L21/30 主分类号 C23F4/04
代理机构 代理人
主权项
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