| 发明名称 |
Method for forming ferroelectric thin film and apparatus therefor |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
GB9620757(D0) |
申请公布日期 |
1996.11.20 |
| 申请号 |
GB19960020757 |
申请日期 |
1996.10.04 |
| 申请人 |
HYUNDAI ELECTRONICS INDUSTRIES CO LTD |
发明人 |
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| 分类号 |
C23C14/44;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/455;C23C16/50;C23C16/509;H01L21/31;H01L21/316;H01L21/8242;H01L27/108 |
主分类号 |
C23C14/44 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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