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发明名称 METHOD AND EQUIPMENT FOR LAYOUT PROCESSING
摘要
申请公布号 JPH08288395(A) 申请公布日期 1996.11.01
申请号 JP19950086868 申请日期 1995.04.12
申请人 NEC CORP 发明人 TAWADA SHIGEYOSHI
分类号 H01L21/82;G06F17/50;(IPC1-7):H01L21/82 主分类号 H01L21/82
代理机构 代理人
主权项
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