| 发明名称 |
MANUFACTURE OF TIN BARRIER FILM AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08288273(A) |
申请公布日期 |
1996.11.01 |
| 申请号 |
JP19950093622 |
申请日期 |
1995.04.19 |
| 申请人 |
NIPPON STEEL CORP |
发明人 |
ITO WATARU;KURAKADO MASAHIKO;TANAKA YUKIMOTO |
| 分类号 |
C23C14/06;C23C14/22;H01L21/28;H01L21/285;H01L21/31;H01L21/318;(IPC1-7):H01L21/31 |
主分类号 |
C23C14/06 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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