发明名称 SEMICONDUCTOR DEVICE AND MANUFACTURE THEREOF
摘要
申请公布号 JPH08274196(A) 申请公布日期 1996.10.18
申请号 JP19950076701 申请日期 1995.03.31
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 MISAWA HIDEKI
分类号 H01L21/8247;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/316;H01L21/318;H01L27/115;H01L29/788;H01L29/792;(IPC1-7):H01L21/824;H01L21/306 主分类号 H01L21/8247
代理机构 代理人
主权项
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