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发明名称 FORMATION OF THIN FILM
摘要
申请公布号 JPH08269708(A) 申请公布日期 1996.10.15
申请号 JP19950071186 申请日期 1995.03.29
申请人 SANYO ELECTRIC CO LTD 发明人 SAYAMA KATSUNOBU;TERAKAWA AKIRA
分类号 C23C14/08;C23C14/34;H01L21/203;(IPC1-7):C23C14/34 主分类号 C23C14/08
代理机构 代理人
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