发明名称 PARALLELIZATION ADJUSTING METHOD FOR ION BEAM
摘要
申请公布号 JPH08264151(A) 申请公布日期 1996.10.11
申请号 JP19950090202 申请日期 1995.03.22
申请人 NISSIN ELECTRIC CO LTD 发明人 NAGAI NOBUO
分类号 C23C14/48;H01J37/147;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 C23C14/48
代理机构 代理人
主权项
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