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发明名称 Maske und Korpuskularbestrahlungsverfahren mit dieser Maske
摘要
申请公布号 DE69213111(D1) 申请公布日期 1996.10.02
申请号 DE1992613111 申请日期 1992.06.12
申请人 FUJITSU LTD., KAWASAKI, KANAGAWA, JP 发明人 YAMAZAKI, SATORU, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;YASUDA, HIROSHI, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP;SAKAMOTO, KIICHI, C/O FUJITSU LIMITED, KAWASAKI-SHI, KANAGAWA 211, JP
分类号 H01L21/027;H01J37/317;H01L21/30;(IPC1-7):G03F1/16;H01J37/302 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
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