| 发明名称 |
FORMING METHOD FOR OXIDE FILM |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08238745(A) |
申请公布日期 |
1996.09.17 |
| 申请号 |
JP19950077261 |
申请日期 |
1995.03.07 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
OKUBO SATOSHI;TAMURA YASUYUKI;AOYAMA ATSUYUKI;NAKANISHI TOSHIRO |
| 分类号 |
H01L21/316;B41F7/40;B41F33/10;(IPC1-7):B41F7/40 |
主分类号 |
H01L21/316 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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