PLASMA TREATMENT DEVICE, AND PLASMA TREATMENT METHOD,申请号JP19950344408-传众专利搜索

发明名称	PLASMA TREATMENT DEVICE, AND PLASMA TREATMENT METHOD
摘要
申请公布号	JPH08227800(A)	申请公布日期	1996.09.03
申请号	JP19950344408	申请日期	1995.12.05
申请人	TOKYO ELECTRON LTD	发明人	ISHII NOBUO
分类号	H05H1/46;C23C16/50;C23F4/00;H01L21/302;H01L21/3065;(IPC1-7):H05H1/46;H01L21/306	主分类号	H05H1/46
代理机构		代理人
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