| 发明名称 |
MANUFACTURE OF DIGITAL MICRO-MIRROR DEVICE BY LOW-TEMPERATURE CVD |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08201708(A) |
申请公布日期 |
1996.08.09 |
| 申请号 |
JP19950253961 |
申请日期 |
1995.09.29 |
| 申请人 |
TEXAS INSTR INC <TI> |
发明人 |
UEIN II BEIRII;JIEEMUZU SHII BEIKAA |
| 分类号 |
G02B26/08;B29D11/00;C23C16/04;C23C16/06;C23C16/12;G02B5/08;(IPC1-7):G02B26/08 |
主分类号 |
G02B26/08 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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