发明名称 VAPOR GROWTH DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08199360(A) 申请公布日期 1996.08.06
申请号 JP19950258883 申请日期 1995.10.05
申请人 TOSHIBA CORP 发明人 MIYAZAKI SHINJI
分类号 B01J12/02;C23C16/44;H01L21/205;H01L21/285;H01L21/31;(IPC1-7):C23C16/44 主分类号 B01J12/02
代理机构 代理人
主权项
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