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发明名称 FORMING METHOD OF WIRING
摘要
申请公布号 JPH08191106(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950266455 申请日期 1995.09.20
申请人 YAMAHA CORP 发明人 HIBINO SATOSHI
分类号 H01L21/28;H01L21/288;H01L21/3205;H01L21/768;H01L23/52;H01L23/522;(IPC1-7):H01L21/768;H01L21/320 主分类号 H01L21/28
代理机构 代理人
主权项
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