发明名称 一种表面处理装置
摘要 本发明提供一种表面处理装置。该装置包括:能充放气体的容器;旋转构件,安装在所述容器;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件,所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。该装置能够使工件在相对于蒸发源翻转的同时,减少工件特别是工件边角和网状管筒之间的滑动和摩擦,实现工件各个表面的镀层均匀一致,同时边角镀层不发生破损。
申请公布号 CN104004993A 申请公布日期 2014.08.27
申请号 CN201310058915.3 申请日期 2013.02.25
申请人 北京中科三环高技术股份有限公司 发明人 王进东;饶晓雷;胡伯平
分类号 C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I 主分类号 C23C14/24(2006.01)I
代理机构 北京航忱知识产权代理事务所(普通合伙) 11377 代理人 陈立航
主权项 一种表面处理装置,包括:容器,能充放气体;旋转构件,安装在所述容器;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件,所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。
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