发明名称 |
一种表面处理装置 |
摘要 |
本发明提供一种表面处理装置。该装置包括:能充放气体的容器;旋转构件,安装在所述容器;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件,所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。该装置能够使工件在相对于蒸发源翻转的同时,减少工件特别是工件边角和网状管筒之间的滑动和摩擦,实现工件各个表面的镀层均匀一致,同时边角镀层不发生破损。 |
申请公布号 |
CN104004993A |
申请公布日期 |
2014.08.27 |
申请号 |
CN201310058915.3 |
申请日期 |
2013.02.25 |
申请人 |
北京中科三环高技术股份有限公司 |
发明人 |
王进东;饶晓雷;胡伯平 |
分类号 |
C23C14/24(2006.01)I;C23C14/50(2006.01)I |
主分类号 |
C23C14/24(2006.01)I |
代理机构 |
北京航忱知识产权代理事务所(普通合伙) 11377 |
代理人 |
陈立航 |
主权项 |
一种表面处理装置,包括:容器,能充放气体;旋转构件,安装在所述容器;工件盛放构件,以能拆卸的方式安装在所述旋转构件,所述工件盛放装置具有盛放待处理工件的内部空间;表面处理构件,对盛放在所述内部空间的所述待处理工件进行表面处理。 |
地址 |
100190 北京市海淀区中关村东路66号甲1号楼(长城大厦)27层 |