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发明名称 ELECTRON BEAM DRAWING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH08190882(A) 申请公布日期 1996.07.23
申请号 JP19950001503 申请日期 1995.01.09
申请人 SONY CORP 发明人 SHIMIZU HIDEO
分类号 G03F7/20;H01J37/073;H01J37/305;H01L21/027;(IPC1-7):H01J37/073 主分类号 G03F7/20
代理机构 代理人
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