发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL SEMICONDUCTOR
摘要
申请公布号 JPH08181044(A) 申请公布日期 1996.07.12
申请号 JP19940337159 申请日期 1994.12.26
申请人 KOKUSAI ELECTRIC CO LTD 发明人 HOSAKA EIJI;IKEDA KAZUTO
分类号 H01L29/78;H01L21/02;H01L21/336;(IPC1-7):H01L21/02 主分类号 H01L29/78
代理机构 代理人
主权项
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