| 摘要 |
<p>In einem CVD-Prozeß oder einem Sublimationsprozeß wird zum Dotieren eines SiC-Einkristalls eine organische Borverbindung verwendet, in deren Molekülen wenigstens ein Boratom an wenigstens ein Kohlenstoffatom chemisch gebunden ist. Bevorzugte organische Borverbindungen sind Bortrialkyle.</p> |
