| 发明名称 |
OZONE GENERATING METHOD AND DEVICE THEREFOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH08169702(A) |
申请公布日期 |
1996.07.02 |
| 申请号 |
JP19940311520 |
申请日期 |
1994.12.15 |
| 申请人 |
HITACHI LTD |
发明人 |
TSUNEKAWA SUKEYOSHI;KAKO MASAO;KAWASUMI KENICHI |
| 分类号 |
C01B13/10;C01B13/11;C23C16/18;C23C16/40;C23C16/44;C23C16/448;C23C16/452;C23C16/455;H01L21/205;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):C01B13/11;H01L21/306 |
主分类号 |
C01B13/10 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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