发明名称 ELECTROSTATIC ACTUATOR AND ITS PRODUCTION
摘要
申请公布号 JPH08168099(A) 申请公布日期 1996.06.25
申请号 JP19940311703 申请日期 1994.12.15
申请人 CANON INC 发明人 YASUDA SUSUMU;YAGI TAKAYUKI
分类号 H04R19/00;B81B3/00;H04R31/00;(IPC1-7):H04R19/00 主分类号 H04R19/00
代理机构 代理人
主权项
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