发明名称 Verfahren zum Herstellen von Siliziumkarbidschichten mit vorherbestimmter Spannungskraft.
摘要
申请公布号 DE69023478(T2) 申请公布日期 1996.06.20
申请号 DE19906023478T 申请日期 1990.03.05
申请人 INTERNATIONAL BUSINESS MACHINES CORP., ARMONK, N.Y., US 发明人 BARTHA, JOHANN W., DR., D-7032 SINDELFINGEN, DE;BAYER, THOMAS, D-7032 SINDELFINGEN, DE;GRESCHNER, JOHANN, DR., D-7401 PLIEZHAUSEN 1, DE;KRAUS, GEORG, D-7277 WILDBERG 4, DE;WOLTER, OLAF, DR., D-7042 AIDLINGEN 3, DE
分类号 C01B31/36;C23C16/32;C23C16/50;C23C16/52;G01Q30/12;(IPC1-7):C23C16/32 主分类号 C01B31/36
代理机构 代理人
主权项
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