VERFAHREN ZUR BESCHICHTUNG EINES PIEZOELEKTRISCHEN SUBSTRATS MIT EINEM HALBLEITERMATERIAL UND VERFAHREN ZUR HERSTELLUNG EINES TRÖPFCHENAUSSTOSSSYSTEMS MIT DEM BESCHICHTUNGSVERFAHREN
摘要
申请公布号
DE69302569(D1)
申请公布日期
1996.06.13
申请号
DE19936002569
申请日期
1993.02.01
申请人
MARKPOINT DEVELOPMENT AB, GOETEBORG, SE
发明人
VONASEK, JIRI, S-442 95 KUNGAELV, SE;LARSSON, STIG-GOERAN, S-430 50 K LLERED, SE;ANDERSSON, OVE, S-421 65 VAESTRA FOERLUNDA, SE
