Firing and sintering process for a ceramic, electronic component

摘要

Durch ein Verfahren zur Herstellung eines keramischen elektronischen Bauteils, das im wesentlichen aus einer dielektrischen Oxidkeramik und mindestens einer palladiumhaltigen Komponente besteht, durch Brennen und Sintern eines organische Bindemittel enthaltenden grünen Körpers, bei dem der Brennprozeß einen ersten Schritt umfaßt, bei dem das Bindemittel aus dem bindemittelhaltigen grünen Körper durch eine Wassergasreaktion in wasserdampfhaltiger, im wesentlichen sauerstofffreier Atmosphäre bei Temperaturen zwischen 20°C und 880°C entfernt wird und in einem zweiten Schritt die dielektrische Oxidkeramik in einer Atmosphäre mit einem Sauerstoffgehalt von 10 bis 100 Volumen-% bei einer Temperatur von 880°C bis 900°C nachoxidiert wird, werden Bauteile erhalten, deren palladiummetallhaltige Komponente nicht delaminiert und die sehr gute dielektrische Eigenschaften haben.