发明名称 Procédé d'évaluation de la durée de vie d'un matériau semiconducteur et dispositif pour la mise en Óoeuvre de ce procédé.
摘要
申请公布号 FR2713826(B1) 申请公布日期 1996.06.07
申请号 FR19930014971 申请日期 1993.12.14
申请人 IKUTOKU GAKUEN PERSON;SEMITEX CO LTD 发明人 OGITA YOICHIRO;KUSAMA TATEO
分类号 G01N21/00;G01N22/00;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 主分类号 G01N21/00
代理机构 代理人
主权项
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