发明名称 |
Procédé d'évaluation de la durée de vie d'un matériau semiconducteur et dispositif pour la mise en Óoeuvre de ce procédé. |
摘要 |
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申请公布号 |
FR2713826(B1) |
申请公布日期 |
1996.06.07 |
申请号 |
FR19930014971 |
申请日期 |
1993.12.14 |
申请人 |
IKUTOKU GAKUEN PERSON;SEMITEX CO LTD |
发明人 |
OGITA YOICHIRO;KUSAMA TATEO |
分类号 |
G01N21/00;G01N22/00;G01R31/265;H01L21/66;(IPC1-7):H01L21/66 |
主分类号 |
G01N21/00 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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