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经营范围
发明名称
Methode und Anordnung zur Ablagerung einer Siliciumdioxydschicht
摘要
申请公布号
DE69026756(D1)
申请公布日期
1996.06.05
申请号
DE19906026756
申请日期
1990.06.20
申请人
WATKINS-JOHNSON CO., PALO ALTO, CALIF., US
发明人
MAHAWILI, IMAD, LOS GATOS CALIFORNIA 95032, US
分类号
C23C16/40;C23C16/42;H01L21/316;(IPC1-7):H01L21/316
主分类号
C23C16/40
代理机构
代理人
主权项
地址
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