发明名称 QUARTZ BOAT OF LPCVD REACTION CHAMBER
摘要
申请公布号 KR960004099(Y1) 申请公布日期 1996.05.21
申请号 KR19930007867U 申请日期 1993.05.12
申请人 LG SEMICONDUCTOR CO., LTD. 发明人 HO, WON - JOON
分类号 H01L21/205;(IPC1-7):H01L21/205 主分类号 H01L21/205
代理机构 代理人
主权项
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