发明名称 Interferometeranordnung zur frequenz- und umweltunabhängigen Längenmessung
摘要
申请公布号 DE4436922(A1) 申请公布日期 1996.04.18
申请号 DE19944436922 申请日期 1994.10.15
申请人 JENOPTIK TECHNOLOGIE GMBH, 07745 JENA, DE 发明人 SEIDE, WOLFGANG, 07743 JENA, DE;ROTHHARDT, MANFRED, 07745 JENA, DE
分类号 G01B9/02;(IPC1-7):G01B9/02;G01B11/02 主分类号 G01B9/02
代理机构 代理人
主权项
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