发明名称 MANUFACTURE OF VERTICAL MOS SEMICONDUCTOR ELEMENT
摘要
申请公布号 JPH0888232(A) 申请公布日期 1996.04.02
申请号 JP19940221183 申请日期 1994.09.16
申请人 FUJI ELECTRIC CO LTD 发明人 RIYOUKAI YOUICHI;SHIMABUKURO HIROSHI
分类号 H01L21/336;H01L29/78;(IPC1-7):H01L21/336 主分类号 H01L21/336
代理机构 代理人
主权项
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