| 发明名称 |
MANUFACTURE OF MIS STRUCTURE AND OPTICALLY EXCITED VAPOR GROWTH EQUIPMENT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0888181(A) |
申请公布日期 |
1996.04.02 |
| 申请号 |
JP19940221779 |
申请日期 |
1994.09.16 |
| 申请人 |
OSAKA GAS CO LTD |
发明人 |
INOUE NAOKI;MORIKAWA SHIGERU;TAKAGI TAKESHI |
| 分类号 |
C30B25/02;C30B28/14;H01L21/205;H01L21/31;H01L21/336;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/205 |
主分类号 |
C30B25/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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