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经营范围
发明名称
SEMICONDUCTOR WAFER
摘要
申请公布号
JPH0878327(A)
申请公布日期
1996.03.22
申请号
JP19940212603
申请日期
1994.09.06
申请人
TOSHIBA CORP
发明人
TSUDA KUNIO
分类号
H01L29/73;H01L21/20;H01L21/331;H01L21/338;H01L29/205;H01L29/737;H01L29/778;H01L29/812;H01S5/00;(IPC1-7):H01L21/20
主分类号
H01L29/73
代理机构
代理人
主权项
地址
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