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发明名称 MANUFACTURE OF PART BY PHOTOLITHOGRAPHY OF SHAPELESS SUBSTRATE
摘要
申请公布号 JPH0831735(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940189855 申请日期 1994.07.20
申请人 ADVANTEST CORP 发明人 TABUSE KAZUHIKO
分类号 H01L21/027;(IPC1-7):H01L21/027 主分类号 H01L21/027
代理机构 代理人
主权项
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