发明名称 WASTE LIQUID RECOVERY DEVICE
摘要
申请公布号 JPH0828800(A) 申请公布日期 1996.02.02
申请号 JP19940162125 申请日期 1994.07.14
申请人 HITACHI LTD 发明人 SAKUMA SATOSHI
分类号 F17D3/00;H01L21/304;(IPC1-7):F17D3/00 主分类号 F17D3/00
代理机构 代理人
主权项
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