发明名称 FILM FORMING METHOD
摘要
申请公布号 JPH0827573(A) 申请公布日期 1996.01.30
申请号 JP19940165208 申请日期 1994.07.18
申请人 MATSUSHITA ELECTRIC IND CO LTD 发明人 SUGAWA TOSHIO;KURAMASU KEIZABURO;TAKAHASHI MUNEKO
分类号 C23C14/54;C23C16/52;C23C16/56;(IPC1-7):C23C14/54 主分类号 C23C14/54
代理机构 代理人
主权项
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