发明名称 Elementisolationsaufbau einer Halbleitereinrichtung und Verfahren zur Herstellung derselben
摘要
申请公布号 DE4116690(C2) 申请公布日期 1996.01.25
申请号 DE19914116690 申请日期 1991.05.22
申请人 MITSUBISHI DENKI K.K., TOKIO/TOKYO, JP 发明人 NAGATOMO, MASAO, ITAMI, HYOGO, JP;SHIMANO, HIROKI, ITAMI, HYOGO, JP;OKUDAIRA, TOMONORI, ITAMI, HYOGO, JP;OKUMURA, YOSHINORI, ITAMI, HYOGO, JP
分类号 H01L21/265;H01L21/336;H01L21/762;H01L21/765;(IPC1-7):H01L21/761;H01L27/04;H01L21/425 主分类号 H01L21/265
代理机构 代理人
主权项
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