| 发明名称 |
FLUID SUPPLY EQUIPMENT TO CASSETTE ELEVATOR |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH0823021(A) |
申请公布日期 |
1996.01.23 |
| 申请号 |
JP19940154858 |
申请日期 |
1994.07.06 |
| 申请人 |
TOSHIBA MACH CO LTD |
发明人 |
SUGIYAMA HISATAKA;HAYASHI SHINGO;OMURA NOBUHISA |
| 分类号 |
H01L21/677;H01L21/31;H01L21/68;(IPC1-7):H01L21/68 |
主分类号 |
H01L21/677 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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