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发明名称
VAPOR SYNTHETIC APPARATUS AND METHOD FOR VAPOR SYNTHESIS
摘要
申请公布号
JPH0812492(A)
申请公布日期
1996.01.16
申请号
JP19940141359
申请日期
1994.06.23
申请人
KYOCERA CORP
发明人
FUKUMARU FUMIO
分类号
C30B29/04;C23C16/26;C23C16/27;C23C16/50;C23C16/515;(IPC1-7):C30B29/04
主分类号
C30B29/04
代理机构
代理人
主权项
地址
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