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发明名称 THIN FILM DRY-ETCHING METHOD
摘要
申请公布号 JPH07335615(A) 申请公布日期 1995.12.22
申请号 JP19940122833 申请日期 1994.06.03
申请人 SEIKO EPSON CORP 发明人 OIKE KAZUO
分类号 G02F1/1343;H01L21/302;H01L21/3065;H01L21/336;H01L29/78;H01L29/786;(IPC1-7):H01L21/306;G02F1/134 主分类号 G02F1/1343
代理机构 代理人
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