发明名称
摘要
申请公布号 JPH07111585(B2) 申请公布日期 1995.11.29
申请号 JP19880328397 申请日期 1988.12.26
申请人 发明人
分类号 G03G5/082;C23C14/24;G03G5/08;(IPC1-7):G03G5/082 主分类号 G03G5/082
代理机构 代理人
主权项
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