发明名称 STEAM RINSE AND STEAM DRY TREATING DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07308644(A) 申请公布日期 1995.11.28
申请号 JP19950032048 申请日期 1995.02.21
申请人 INTERNATL BUSINESS MACH CORP <IBM> 发明人 MAAGARETSUTO JIEEN ROOSON;EDOWAADO JIYOZEFU REONAADO;JIYON HAWAADO NANSEN
分类号 B08B3/08;H01L21/00;H01L21/304;(IPC1-7):B08B3/08 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
主权项
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