发明名称 ION SOURCE FOR ION IMPLANTATION DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07288097(A) 申请公布日期 1995.10.31
申请号 JP19940101898 申请日期 1994.04.15
申请人 SONY CORP 发明人 KOGA YASUHIRO
分类号 H01J27/20;H01J37/08;H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01J37/317 主分类号 H01J27/20
代理机构 代理人
主权项
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