| 发明名称 |
Cleaning system and method |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL114097(D0) |
申请公布日期 |
1995.10.31 |
| 申请号 |
IL19950114097 |
申请日期 |
1995.06.11 |
| 申请人 |
SIZARY MATERIALS PURIFICATION LTD. |
发明人 |
ZINMAN IOSEF;SERGIENKO ALEX |
| 分类号 |
C23G5/00;C23F4/00;H01L21/00;H01L21/302;H01L21/304;H01L21/3065;(IPC1-7):B08B |
主分类号 |
C23G5/00 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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