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发明名称 WAFER WASHING METHOD AND WAFER WASHER
摘要
申请公布号 JPH07273078(A) 申请公布日期 1995.10.20
申请号 JP19940061715 申请日期 1994.03.30
申请人 KAWASAKI STEEL CORP 发明人 HABUTSU HISASHI
分类号 B08B3/08;H01L21/304;(IPC1-7):H01L21/304 主分类号 B08B3/08
代理机构 代理人
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