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发明名称
摘要
申请公布号 JPH0797665(B2) 申请公布日期 1995.10.18
申请号 JP19940043339 申请日期 1994.02.18
申请人 发明人
分类号 C23F1/30;H01L21/3205;H01L39/24;H05K3/02;(IPC1-7):H01L39/24;H01L21/320 主分类号 C23F1/30
代理机构 代理人
主权项
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