伺服压力缸装置

摘要

本发明涉及一种将压缩空气导入压力缸室内使活塞变位至目标位置附近之后，以马达的驱动力使滚珠螺丝轴回转从而使活塞微小变位，当活塞到达目标位置时用制动机构停止滚珠螺丝轴的回转，以高精密度使活塞停止于目标位置的伺服压力缸装置；此装置将马达与滚珠螺丝轴平行配置以缩短全长，并将压缩空气导入压力缸室及制动机构的电磁阀一体地设在压力缸本体以缩短配管系统而实现迅速地变位与停止。

主权项

1、一种伺服压力缸装置(10)，具备有设在形成于压力缸本体(16)内的压力缸室(64)内成为变位自如的活塞(20)，及一端部连结于前述活塞，而另一端部露出于压力缸室外部的活塞杆(18)，及向前述压力缸室供给流体压力的压力缸赋压装置，及扣合于前述活塞的滚珠螺丝轴(22)，及连结于前述滚珠螺丝轴的马达(26)，及停止前述滚珠螺丝轴的旋转借以固定前述活塞于所定位置的制动装置；而且，以供给于前述压力缸室的流体压力使活塞变位至目标位置附近，之后，用马达回转滚珠螺丝轴从而使活塞微小变位至目标位置，到达目标位置时，用前述制动装置停止滚珠螺丝轴的回转从而使活塞停止于目标位置的伺服压力缸装置；其特征为，马达的驱动轴与前述滚珠螺丝轴平行配置，在前述滚珠螺丝轴的一端部设有第一回转装置，在前述马达的驱动轴设有第二回转装置，而在第一，第二回转装置之间设有回转力传动装置。