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发明名称 PURIFICATION OF SILICON
摘要
申请公布号 JPH07247108(A) 申请公布日期 1995.09.26
申请号 JP19950006488 申请日期 1995.01.19
申请人 SUMITOMO CHEM CO LTD 发明人 TABUCHI HIROSHI;MIYAI TAKESHI;TAKAHASHI AKIHIKO
分类号 B01D9/02;C01B33/039;C22B61/00;C22C1/02;H01L31/04;(IPC1-7):C01B33/039 主分类号 B01D9/02
代理机构 代理人
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