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发明名称 ION IMPLANTATION METHOD AND DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07245275(A) 申请公布日期 1995.09.19
申请号 JP19940058083 申请日期 1994.03.03
申请人 SONY CORP 发明人 OTANI HIDEKI
分类号 H01J37/317;H01L21/265;(IPC1-7):H01L21/265 主分类号 H01J37/317
代理机构 代理人
主权项
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