| 发明名称 |
Apparatus for optical inspection of wafers during polishing |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
IL113829(D0) |
申请公布日期 |
1995.08.31 |
| 申请号 |
IL19950113829 |
申请日期 |
1995.05.23 |
| 申请人 |
NOVA MEASURING INSTRUMENTS LTD. |
发明人 |
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| 分类号 |
B24B37/04;B24B49/12;H01L21/00;H01L21/304;H01L21/66;H01L21/683;(IPC1-7):H01L |
主分类号 |
B24B37/04 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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