电镀槽

摘要

本发明提供一种电镀槽，其不会对板状工件造成损伤，可安全地搬送板状工件，并且，可以达到均匀的电镀质量和电镀膜厚。遮罩装置在薄板基板W的上端部和下端部具有下面4个遮罩板。限制辊装置由以基本到达薄板基板W的上部附近的高度立设在下部基板遮罩板的上面的辊立设体和偏斜防止部件构成。