发明名称 METHOD OF FABRICATING MEMBRANES MOUNTED ON A FRAME.
摘要
申请公布号 EP0668995(A1) 申请公布日期 1995.08.30
申请号 EP19940900079 申请日期 1993.10.27
申请人 MICROPARTS GESELLSCHAFT FUER MIKROSTRUKTURTECHNIK MBH;MICROPARTS GMBH 发明人 SCHOMBURG, WERNER;RAPP, RICHARD;KADEL, KLAUS
分类号 F04B43/04;G01L7/08;G01L9/00;G03F7/00;(IPC1-7):G01L9/00;G03F1/14 主分类号 F04B43/04
代理机构 代理人
主权项
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