发明名称 |
MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE |
摘要 |
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申请公布号 |
JPH07230982(A) |
申请公布日期 |
1995.08.29 |
申请号 |
JP19940019181 |
申请日期 |
1994.02.16 |
申请人 |
NIPPONDENSO CO LTD |
发明人 |
UENOYAMA HIROBUMI;AO KENICHI;SUZUKI YASUTOSHI;YOSHINO YOSHI |
分类号 |
H01L29/73;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/761;H01L29/732;H01L43/08;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 |
主分类号 |
H01L29/73 |
代理机构 |
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代理人 |
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主权项 |
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地址 |
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