发明名称 MANUFACTURE OF SEMICONDUCTOR DEVICE
摘要
申请公布号 JPH07230982(A) 申请公布日期 1995.08.29
申请号 JP19940019181 申请日期 1994.02.16
申请人 NIPPONDENSO CO LTD 发明人 UENOYAMA HIROBUMI;AO KENICHI;SUZUKI YASUTOSHI;YOSHINO YOSHI
分类号 H01L29/73;H01L21/306;H01L21/3213;H01L21/331;H01L21/761;H01L29/732;H01L43/08;(IPC1-7):H01L21/306;H01L21/321 主分类号 H01L29/73
代理机构 代理人
主权项
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