| 发明名称 |
INSPECTING DEVICE OF HEIGHT |
| 摘要 |
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| 申请公布号 |
JPH07208932(A) |
申请公布日期 |
1995.08.11 |
| 申请号 |
JP19940002504 |
申请日期 |
1994.01.14 |
| 申请人 |
FUJITSU LTD |
发明人 |
FUSE TAKASHI;TSUKAHARA HIROYUKI;NISHIYAMA YOJI;TAKAHASHI FUMIYUKI |
| 分类号 |
G01B11/02;H01L21/66;(IPC1-7):G01B11/02 |
主分类号 |
G01B11/02 |
| 代理机构 |
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代理人 |
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| 主权项 |
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| 地址 |
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